シリカガラスとは石英ガラスに対して通常"溶解処理"を施したガラスのことです。この化学処理によりフィラメントの表面に微粒子ができ、二酸化珪素の量が増え、従って、耐熱性が増します。高度の耐熱性は要求されるが、物理的耐性は比較的低くとも済む分野において利用されます。